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一.百級潔凈烤箱，無塵烘箱概述

   百級潔凈烤箱也稱作無塵烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤、工裝夾具烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

二．百級潔凈烤箱，無塵烘箱特點

? 在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100；

? 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；

? 采用單面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達運轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；

? 強制送風(fēng)循環(huán)方式，雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到最佳溫度控制精度。

三．百級潔凈烤箱，無塵烘箱技術(shù)參數(shù)

1.主要技術(shù)指標

? 無塵等級：Class 100;     

? 溫度范圍：RT+10～200、300℃；

? 溫度均勻度：±2℃;    

? 溫度波動度：±0.5℃（空載）；        

? 溫控精度：±0.1℃;

? 進風(fēng)口：φ6mmN2進氣、流量計控制;

? 排風(fēng)口： φ3”排風(fēng)管;     

? 電源：380v , 50Hz；

?保護裝置：超溫保護，漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、 超溫防止保護裝置（上限220℃）、 電熱過電流保護裝置、馬達過電流
    保護、 反向保護裝置、內(nèi)襯防火材料、機臺異常蜂鳴器警示、門面安全開關(guān)。   

? 網(wǎng)板：2-5層，不銹鋼加工圓孔托盤 , 載重量可承重50kg；

? 潔凈度：100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風(fēng)水平層對流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。

四．常用規(guī)格

注：若無滿足型號規(guī)格，可提供訂制。