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無氧化烘箱，無氧烤箱簡介：

   無氧化烘箱適用于半導體、光電元件、能原材料、通訊產(chǎn)品、機電產(chǎn)品等作無氧化干燥、固化、焊接、退火等高溫處理。封裝測試，所有的Lead PKG、BGA、MCM、光刻工藝有機聚合物膜預固化、堅膜，銀漿固化、模后固化、電鍍退火，基板除潮、晶圓干燥退火等。

含氧控制：為更好防止產(chǎn)品受潮氧化，配有氧氣濃度傳感探頭，當氧氣濃度高于所設定數(shù)值時連接制供氣設備的電磁閥門自動打開，向箱內自動充氮； 氧氣濃度低于所設定數(shù)值時，連接供氣設備的電磁閥門自動關閉并將實時數(shù)據(jù)傳輸?shù)酵怙@示器上;
氮氣裝置：氮氣專用轉子流量計,進氣端配有氮氣減壓閥，氣源壓力及實際充氣壓力雙表指針顯示;
含氧量：< 50ppm，30ppm, 20ppm

無氧化烘箱，無氧烤箱技術參數(shù)：

溫度范圍：RT-200℃定點可調

控溫精度：±1℃

升溫速率：RT-100℃ 約20min
工作室尺寸：W600*D500*H750（可自定義）

外殼材料:外箱采用SUS304不銹鋼或 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵

內膽材料:優(yōu)質潔凈T1.5mmSUS304#鏡面不銹鋼或國標鏡面不銹鋼材質，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤產(chǎn)生 PARTICLE；

活動層板:配置2層承重型不銹鋼沖孔拖盤，可根據(jù)實際需要增加

循環(huán)系統(tǒng)：強制水平送風循環(huán)，風源由循環(huán)馬達運轉帶動風輪經(jīng)電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后熱風吸入風道成為源再度循環(huán)加熱，由此減小能量損耗并保證箱內的溫度均勻性，當門開、關動作 引起擾動時，可借此送風循環(huán)系統(tǒng)迅速回復操作狀態(tài)溫度值

進氣系統(tǒng)：數(shù)量1個，φ50mm

排氣系統(tǒng)：數(shù)量1個，φ50mm

溫控裝置：智能LED雙數(shù)顯高精度溫度控制系統(tǒng)（多段程序控制可選），并具有PID自整定，自動恒溫等功能

超溫保護：內置超溫保護儀，超過溫度設置上限自動報警并切斷加熱。

測溫裝置：采用標準型PT100溫度傳感器，精確測溫，穩(wěn)定可靠  

定時裝置：內置自動定時器，0-99.99小時設定，可預設烘烤時間 

報警裝置：恒溫時間結束后自動聲光報警提示

安全裝置：漏電，短路，過載保護；

固態(tài)輸出：SSR無觸點繼電器模塊，靈敏度高