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致
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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HMDS六甲基二硅胺烷成底膜的方法與優點
來源:
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作者:雋思半導體設備部
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發布時間: 2015-04-09
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HMDS六甲基二硅胺烷成底膜的重要性
半導體生產工藝中，光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節，涂膠質量直接影響到光刻的質量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導致光刻圖形轉移的失敗，同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。增黏劑 HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將 HMDS 涂到半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后，經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著偶聯劑的作用。
HMDS六甲基二硅胺烷成底膜的方法：
（1）浸潤分滴和旋轉。浸潤分滴和旋轉的方法常用于單個硅片的處理。溫度和用量容易控制，但需要排液和排氣裝置。缺點是HMDS消耗量較大及對人體傷害的問題。
（2）噴霧分滴和旋轉。噴霧的方法是用一噴霧器在晶圓片表面噴一層細微的 HMDS，這種方法的優點是有助于晶圓片表面顆粒的去除，但同樣存在消耗量較大的問題及對人體傷害的問題。
（3）氣相成底膜是最常用的方法，通常在120～150℃下完成。氣相成底膜的優點是由于沒有與硅片的接觸減少了來自液體 HMDS 顆粒沾污的可能，并且HMDS 的消耗量也最少。氣相成底膜的溫度與烘焙溫度接近，因此在實際操作中也常將二者結合起來使用
智能型HMDS真空系統通過對箱體內預處理過程的工作溫度、工作壓力、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、襯底表面完成 HMDS成底膜的工藝。降低了光刻膠的用量，所有工藝都在密閉的環境中進行，完全沒有HMDS揮發，提高了安全性。
