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精密烤膠機(jī)，高精度烘膠臺(tái)研制背景：

    光刻工藝及其相關(guān)技術(shù)是微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)加工工藝的重要組成部分.均膠和烘干是光刻工藝中不可缺少的一道工序,為增加膠層與硅片表面粘附能力,提高在接觸式曝光中膠層與掩模版接觸時(shí)的耐磨性能及穩(wěn)定膠層的感光靈敏度,通常采用烘箱或熱板等加熱設(shè)備對(duì)光刻膠進(jìn)行干燥.由于熱板易于達(dá)到在膠的厚度方向快速均勻烘干等要求,目前越來越多地采用電熱板加熱的方式. 熱板的表面溫度均勻性,溫度控制精度,溫度上升速度等是熱板的主要性能指標(biāo).我司針對(duì)研究的需要設(shè)計(jì)了一種溫度控制精度高,板面溫度均勻性好,成本低的電加熱板,用于光刻膠的烘干.

精密烤膠機(jī)，高精度烘膠臺(tái)應(yīng)用行業(yè)：

    用于晶圓的單面烘烤，可用于預(yù)烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底膠涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake堅(jiān)膜)工藝。適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，掩膜版（光罩），柔性電路，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化。

精密烤膠機(jī)，高精度烘膠臺(tái)的性能：

加熱面積尺寸：160mm*160mm、220mm*220mm，多尺寸，多工位定制  

控溫范圍：室溫--200、300℃

溫度分辨率 ：0.1℃     

溫度波動(dòng)度：≤±0.5℃         

溫度均勻性：≤±0.5℃

電源輸入：AC220V 10A           

加熱功率：1500W

熱板表面:由硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁制成

可定制功能：

支撐pin材料

邊緣支撐pin

N2吹掃，無氧化烘烤

烘焙距離可調(diào)模組

真空腔體

智能控制系統(tǒng)