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智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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HMDS烘箱在第三代半導體材料中的工藝
來源:
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作者:雋思半導體設備部
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發布時間: 2023-10-07
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HMDS烘箱在第三代半導體材料中的工藝
第三代半導體是以碳化硅（SiC）、氮化鎵（GaN）、氧化鋅（ZnO）、金剛石、氮化鋁（AlN）為代表的寬禁帶（禁帶寬度Eg>2.3eV）的半導體材料。其中又以SiC和GaN為最核心的材料。然而這些新材料襯底在光刻模塊中的標準步驟是：脫水烘烤、HMDS prime、抗蝕劑旋轉/噴涂、軟烘烤、對準、曝光、曝光后烘烤、顯影硬烘烤和除渣。
HMDS prime - 在晶圓表面涂上附著力促進劑。附著力促進劑用于與晶圓表面發生化學反應，并用有機官能團取代 -OH 基團，與羥基不同，該官能團對光刻膠具有良好的附著力。硅烷通常用于此目的，最常見的是六甲基二硅烷 (HMDS)。
施加粘合促進劑的優選方法是將基材置于 HMDS 蒸汽中，通常是在升高的溫度和降低的壓力下。這允許在沒有過多 HMDS 沉積的情況下對基材進行良好的涂覆，并且更高的溫度會導致與硅烷醇基團的反應更完全。
文中所要求的HMDS蒸汽及升高溫度和降低壓力的制作工藝，可在HMDS烘箱中完成，無需獨立操作，一鍵作業。
HMDS烘箱技術規格：
內腔尺寸：300×300×300、450×450×450（mm）（可定制）
材質：內箱采用 316L 醫用級不銹鋼
溫度范圍：RT+30-200℃
真空度：≤1torr
電源及總功率：AC 220V±10% / 50HZ，總功率約2.8KW
控制儀表：人機界面，一鍵運行
擱板層數：2 層
HMDS控制：可控制HMDS添加量
真空泵：無油渦旋真空泵
HMDS藥液泄漏報警提示功能
HMDS低液位報警提示功能
工藝數據記錄功能
藥液管道預熱功能
程序鎖定保護等功能
