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充氮真空無氧烘箱的原理
來源: | 作者:雋思半導體設備部 | 發布時間: 2023-07-04 | 736 次瀏覽 | 分享到:

1.充氮真空無氧烘箱的原理,其原理通過外接氮氣置換裝置,使箱體內達到無氧真空狀態,提供無氧潔凈的固化環境。

2.充氮真空烘箱熱量利用的比較充分,專為干燥熱敏性、易分解等物質而設計,能夠向內部充入惰性氣體,特別是一些成分復雜的物品也能進行快速干燥;使用容積比較大,微電腦溫度控制器,控溫比較準確;

3.真空充氮烘箱是一種利用真空厭氧固化的設備,它可以在無氧的環境下對一些特殊的膠水進行快速固化,適用于半導體芯片、電子元器件、醫療器械等領域。

4.充氮真空無氧烘箱的熱處理,通過真空抽出空氣及雜質氣體,真空度根據不同的工藝要求,需要達到100pa,甚至50pa以內,然后通過充入高純潔凈氮氣數次循環后達到無氧環境,20或者10ppm以下,再根據預先設置的recipe升溫,真空+氮氣補償,恒溫,降溫等工藝過程。

5.充氮真空烘箱的優勢和特點是在負壓工作狀態下,在氧含量少的情況下可以杜絕氧化反應先進行抽離真空再充氮氣加熱,這樣可以減少氧化,再負壓狀態下產品固化效率也不相同,產品質量更加優質。


      充氮真空無氧烘箱也稱為真空無氧烤箱、厭氧爐、真空固化爐等,用于半導體/第三代半導體/新材料/新能源等行業。BCB、PI、CPI、PBO膠固化,LCP新材料、鋰電池等產品熱處理。


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